MKS真空1559A00451LG1BV流量計深圳市天鉉真空技術有限公司

2）MKS 1559A的流量控制器的接線圖：

轉換電纜的接線定義：

     MKS  1559A                                                 Vogtlin GSC

15針2排公頭----------------------------------------------9孔2排的母頭

2腳0-5號反饋----------------------------------------4腳0-5號反饋

5腳0V電源接地-------------------------------------------2腳0V電源接地

7腳+15V供電----------------------------------------------3腳+15-24V供電

8腳0-5號設定----------------------------------------5腳0-5號設定

11，12腳信號公共端-------------------------------------1腳信號公共端