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HORIBA質量流量控制器
概要質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備
概要MARK3系列是在未改變質量流量控制器所必須的品質特性的條件下*實現成本降低的量產產品
概要搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器特征通過采用數字回路，實現了高精度?高速響應
Z514
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